በአጠቃላይ

በአጠቃላይ ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን በማዘጋጀት, በማምረት እና አጠቃቀም ላይ አነስተኛ መጠን ያለው ውድቀትን ለማስወገድ አስቸጋሪ ነው. የምርት ጥራት መስፈርቶች ቀጣይነት ባለው መሻሻል, የውድቀት ትንተና በጣም አስፈላጊ እየሆነ መጥቷል. የተወሰኑ የብልሽት ቺፖችን በመተንተን የወረዳ ዲዛይነሮች የመሳሪያውን ዲዛይን ጉድለቶች ፣የሂደቱ መለኪያዎች አለመመጣጠን ፣ምክንያታዊ ያልሆነ የወረዳ ወረዳ ዲዛይን ወይም በችግሩ የተፈጠረውን አለመግባባት እንዲያገኙ ያግዛል። የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውድቀት ትንተና አስፈላጊነት በዋነኝነት በሚከተሉት ገጽታዎች ይገለጻል ።

(1) የብልሽት ትንተና የመሳሪያውን ቺፕ ውድቀት ዘዴ ለመወሰን አስፈላጊ ዘዴ ነው;

(2) የውድቀት ትንተና ውጤታማ ስህተት ምርመራ አስፈላጊ መሠረት እና መረጃ ይሰጣል;

(3) የሽንፈት ትንተና ለዲዛይን መሐንዲሶች የቺፕ ዲዛይኑን ያለማቋረጥ እንዲያሻሽሉ ወይም እንዲጠግኑ እና በንድፍ ዝርዝር ውስጥ የበለጠ ምክንያታዊ እንዲሆኑ አስፈላጊውን የግብረመልስ መረጃ ይሰጣል።

(4) የውድቀት ትንተና ለምርት ሙከራ አስፈላጊ ማሟያ ሊሰጥ እና የማረጋገጫ ሙከራ ሂደትን ለማሻሻል አስፈላጊ የመረጃ መሰረት ሊሰጥ ይችላል።

ሴሚኮንዳክተር ዳዮዶች ፣ ኦዲዮኖች ወይም የተቀናጁ ወረዳዎች ውድቀት ትንተና ፣ የኤሌክትሪክ መለኪያዎች በመጀመሪያ መሞከር አለባቸው ፣ እና በእይታ ማይክሮስኮፕ ውስጥ ከሚታየው ምልከታ በኋላ ማሸጊያው መወገድ አለበት። የቺፕ ተግባሩን ትክክለኛነት በሚጠብቅበት ጊዜ የውስጥ እና የውጭ እርሳሶች ፣ የመገጣጠም ነጥቦች እና የቺፕው ገጽ በተቻለ መጠን መቀመጥ አለባቸው ፣ ስለሆነም ለቀጣዩ የትንታኔ ደረጃ ይዘጋጁ።

ይህንን ትንታኔ ለማድረግ የኤሌክትሮን ማይክሮስኮፕ እና የኢነርጂ ስፔክትረምን በመጠቀም፡- በአጉሊ መነፅር ሞርፎሎጂ፣ የውድቀት ነጥብ ፍለጋ፣ የብልሽት ነጥብ ምልከታ እና ቦታ፣ የመሳሪያውን ጥቃቅን የጂኦሜትሪ መጠን እና የገጽታ እምቅ ስርጭትን እና የዲጂታል በር አመክንዮአዊ ፍርድን ጨምሮ። ወረዳ (በቮልቴጅ ንፅፅር ምስል ዘዴ); ይህንን ትንታኔ ለማድረግ የኢነርጂ ስፔክትሮሜትር ወይም ስፔክትሮሜትር ይጠቀሙ፡- በአጉሊ መነጽር የሚታይ ንጥረ ነገር ስብጥር ትንተና፣ የቁሳቁስ አወቃቀር ወይም የብክለት ትንተና አለው።

01. የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ወለል ጉድለቶች እና ማቃጠል

በስእል 1 ላይ እንደሚታየው የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች መቃጠል እና የንፁህ የንፅህና ሽፋን ጉድለት ሁለቱም የተለመዱ ብልሽቶች ሁነታዎች ናቸው ።